洗浄・エッチング装置
装置
| バッチウェット装置 | ||
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特徴 |
対応ウェーハサイズ：3～12インチ |
| 枚葉処理装置 | ||
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特徴 |
対応ウェーハサイズ：4～8インチ 対応薬液：各種有機、酸、アルカリ ※実験機から量産機まで対応します ※その他、ご要望に関しましては相談に応じます |
| MEMS用エッチング装置 | ||
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特徴 |
ウェーハ表面に発生する水素ガス（気泡）を回転動作により除去→エッチング斑の抑制をします Si基盤をTMAH、KOH等で深堀します ※その他ご要望に関しましてはご相談に応じます。 |
| 石英管洗浄装置 | ||
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特徴 |
石英チューブ、治具等を薬液洗浄、処理後の水洗処理を行える機器です。 ※その他ご要望に関しましてはご相談に応じます。 |
| ドラフト① | ||
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特徴 |
薬品洗浄、処理後の水洗処理を行える機器です。 |
| ドラフト② | ||
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特徴 |
薬品洗浄、処理後の水洗処理を行える機器です。 |
| ドラフト③ | ||
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特徴 |
超音波洗浄が行える機器です。 |
